氦气
氦气穿透能力强，且易，对漏点有很好的检出能力，可让细微小洞无处可逃。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部，氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞，灵敏度可与性检漏方法匹敌，但要比性检漏方法简便。氦气检漏方法：首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中，并加压，让氦气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。氢气检漏法的主要设备(1)检漏仪：采用上述工作原理制造的氢气检漏仪，由于氢气的上述性质，其灵敏度可以达到与氦检相同水平。
氦气检漏仪进行氦气检漏方法操作：
1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测；
2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”灯亮起，等待系统运行；
3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始氦气检漏（等待几分钟）；
4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏；
5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”；
6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。全部完成充氦气后再观察20分钟，看数值有无大的变动。
7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，关电源。
氢气系统
氢气汇流排
发电机产生的热量通过氢气耗散，氢气的散热能力相当于空气的8倍。为了获得更加有效的冷却效果，发电机中的氢气是加压的。
氢气来自中央制氢站，通过软管与汇流排连接。减压阀将氢压减至所需压力，然后送到氢气控制装置再减压至发电机所需的压力。
二氧化碳汇流排
为了防止氢气和空气混合成性的气体，在向发电机充入氢气之前，必须要用二氧化碳将发电机内的空气置换干净。同理，在发电机停机排氢后，也要用二氧化碳将发电机内的氢气置换干净 。
氢气管道
在氢气管道方面，氢气管采用无缝钢管制成;管道和管件采用焊接连接，以减少可能的泄漏点。管道与设备的喷嘴、阀门等采用法兰或螺纹连接，并在连接中使用金属丝并定期检查粘接电阻，设备或管道端部是否接地良好;所述管道上设有空管、取样口和吹扫口，其位置满足管道中气体吹扫和更换的要求，系统上设有含氧量小于0.5%的氮气置换吹扫设施;氢气排气管应导至室外，排气口应高于屋顶高处1m以上。在排气口设置阻火器，防止外部火花进入系统造成事故，并采取防护措施，防止雨雪侵入、碎片堵塞、雷击。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。